В Северной столице проработали импортозамещающий технологический комплекс, на котором возможно создать наноструктуры, необходимые для работы микроэлектронного оборудования. Новинку представили ученые из Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ).
Фото: pxhere
Так, новая разработка позволит решить вопрос о технологическом суверенитете РФ в сфере микроэлектронного оборудования. Известно, что комплекс, созданный специалистами из СПбПУ, состоит из двух частей. Первая — это промышленные образцы установки безмасочной нанолитографии, а вторая — образец установки плазмохимического травления кремния, сообщают РИА Новости.
Целью петербургских ученых на первом этапе стал процесс литографии, который, как правило, проходит на зарубежном оборудовании. Таким образом, в России станет возможно получать аналогичную картинку на подложке, не применяя при этом шаблон по технологии безмасочной литографии. Для этого было разработано специальное программное обеспечение, которое полностью автоматизировано. Второй этап поможет систематизировать и осуществить процесс плазмохимического травления по рисунку, полученному на первом шаге.
Предполагается, что новая технология позволит сэкономить время и средства. Отечественная установка обойдется примерно в пять миллионов рублей против иностранной, на которую затрачивается от 10 до 13 миллиардов рублей. Также новая разработка поможет увеличить срок службы некоторых приборов.
Уточняется, что специалисты планируют внедрить машинное обучение на обе установки и продолжить создание технологий и для силовой электроники.
Ранее Neva.Today сообщала, что шведские исследователи определили новый способ борьбы с рассеянным склерозом.
